氧療的副作用主要是長期高流量的吸氧所引起的氧中毒，氧分壓過高、呼吸抑制所引起的二氧化碳潴留以及少數視網膜增生。長期大量高流量的吸氧，尤其是短期內長時間的吸氧，氧分壓過高，機體中會產生大量的氧自由基，損傷氣道、肺組織，甚至引起心臟其他器官的功能障礙。病人會出現譫妄、興奮，甚至躁狂，肺部出現呼吸窘迫綜合征以及急性肺損傷，均為氧療引起的急性反應，稱為氧中毒。對于慢性阻塞性肺疾病患者，氧分壓過高會抑制大腦的呼吸中樞，使呼吸頻率變慢、呼吸幅度降低，不利于二氧化碳排出，引起二氧化碳潴留，進而形成肺性腦病，初期表現為興奮，二氧化碳潴留過多，則出現昏迷。對新生兒氧流量高、氧濃度過高，則引起視網膜增生，甚至失明。氧療雖然是較好的治療方式，但要注意副作用，對于不適合的人群或者氧濃度過高，就要及時降低，注意觀察，以免給病人造成不必要的傷害。