如果霧化吸入是利用氧氣作為驅動力的來源，氧流量按照指南、共識要求6-8L/min。氧流量1L/min時也會產生霧化的氣流，氧流量3L/min時霧化氣流可能會多，氧流量5L/min時氣流更多，但標準要求氧流量在6L/min以上。這樣產生的藥物顆粒在5-10μm，有效的顆粒容易沉積在深部的支氣管與肺里，發揮相應的即時抗炎、擴張支氣管的作用。如果顆粒過大沉積在口腔里，不能進入肺里，或者顆粒過小容易被呼出，不能起到抗炎、擴張支氣管的作用。如果氧流量設置過大，雖然顆粒較小，但是會加重患者二氧化碳潴留，因此氧流量以6-8L/min為宜。